真空退火炉是一种特殊的热处理设备,用于在极低气压或接近真空的环境下对材料进行加热处理。这种环境能够有效防止氧化、改善材料的力学性能和物理性质。而真空泵则是实现这一环境的关键设备,它通过移除真空退火炉内的空气和其他气体分子来创建并维持所需的低压状态。
真空泵的工作可以分为几个基本步骤。首先,启动前,真空泵需要排空内部空气,确保没有杂质影响其性能。随后,泵开始运转,通过机械作用抽取退火炉内的气体,逐渐降低压力。这一过程通常涉及多种类型的泵,如旋片泵、罗茨泵等,它们协同工作以达到高真空状态。
旋片泵利用旋转的旋片吸入并压缩气体,然后将其排出到大气中,这适用于初步抽真空阶段,将压力降低到中等水平。当需要更高真空度时,罗茨泵便介入工作,它采用两个同步旋转的叶轮,以更高的速度排除气体,进一步提高真空度。